Labor-CVD-System mit 1500-1500C Zweizonen-Drehrohrofen

Sales Labor-CVD-System mit 1500-1500C Zweizonen-Drehrohrofen

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Produktdetail  

Labor-CVD-System mit 1500-1500C Zweizonen-Drehrohrofen

Das CVD-System besteht aus einem Gasversorgungssystem + Röhrenofen + Vakuumsystem, und die maximale Temperatur kann 1200 Grad, 1400 Grad, 1600 Grad und 1700 Grad erreichen. Die Heizzone kann eine Zone mit einer Temperatur, eine Zone mit zwei Temperaturen, eine Zone mit drei Temperaturen usw. sein. Das Endvakuum kann 10-3 Pa erreichen. Das Gasversorgungssystem kann ein Massedurchflussmesser oder ein Schwimmerdurchflussmesser zur Durchflussregulierung sein. Die Anzahl der Mischkanäle kann 2 Kanäle, 3 Kanäle, 4 Kanäle und 5 Kanäle betragen.


Detaillierte technische Parameter

Modell

1500-1500-I                                                              1500-1500-II

Leistung

9KW                                                                                                                                           

Rohr

Größe

Durchm

60 (AD) x 1400 mm                                     Durchmesser 80 (OD) x 1400 mm

Liefern

Stromspannung

380 V                                                                                                                                 

Phase

zweiphasig                                                              zweiphasig

Rohr

Korundrohr: hochreines AIO

Keramik (einschließlich) 99,5 %

Heizung

Element

Zuerst

Temperaturzone: Siliziumkohlenstoffstab                     Zweite Temperaturzone: Siliziumkohlenstoffstab

Rotationsgeschwindigkeit des Ofenrohrs

Mit stufenlosem Motor mit variabler Drehzahl,

die Geschwindigkeit kann zwischen (1-25 RPM) eingestellt werden

Motorleistung

40W

Der Ofen kann in einem Winkel gekippt werden

0-30 Grad

Eine Art Antrieb

Zahnriemen und Zahnrad

Kontrolle

Modus

UAV-Programm-Temperaturregelinstrument

(Standard)


1, 30-stufige Programmtemperaturregelung

intelligente PID-Anpassung.

2. Mit Übertemperaturschutz, die elektrische

Ofenheizkreis wird automatisch abgeschaltet, wenn die Temperatur ist

Übertemperatur oder gebrochen, (wenn die Elektroofentemperatur überschreitet

1520 Grad oder das Thermoelement ist durchgebrannt, das AC-Relais auf dem Hauptstromkreis

wird automatisch getrennt, der Hauptstromkreis ist unterbrochen. An, das AN

Licht auf dem Panel ist aus, das AUS-Licht ist an und der begrenzte Schutz

Elektroofen).

3, mit 485 Kommunikationsschnittstelle (Standard

beim Kauf von Software)

4, mit power-off schutzfunktion, dass

ist, wenn der Strom eingeschaltet wird, nachdem der Strom ausgeschaltet wurde, das Programm

beginnt nicht mit der Starttemperatur, sondern mit der Ofentemperatur

steigt ab dem Zeitpunkt des Stromausfalls.

5, das Messgerät hat die Funktion der Temperatur-Selbstoptimierung

(Sie müssen für den Ersatz extra bezahlen

von importierten Instrumenten, optional)

FP93-Instrument

EUROTHERM-Instrument

Berührungssensitiver Bildschirm

Instrument

(Shimaden, Japan)



Ofenmaterial

1. Hochwertiges hochreines polykristallines Aluminiumoxid

Faserhärtungsofen, gebildet durch Vakuumfiltration.

2. Nehmen Sie japanische Technologie für das Formen an.

Kontrolle

Richtigkeit

+/- 1℃

Abzug

Phasenverschoben

Abzug

Elektrisch

Gerät

Zhejiang

chint

Silizium

kontrolliert

106/16ESEMIKRON

Das

höchste Temperatur in der ersten und zweiten Temperaturzone

1500℃

Bewertet

Temperatur in der ersten und zweiten Temperaturzone

1400℃

Heizung

Bewertung

≤ 20 ℃ / Min (kann nach Bedarf geändert werden)

Empfohlen

Geschwindigkeit des Temperaturanstiegs

≤10℃/Min

Thermoelement

S geben Sie die erste ein

Temperaturzone

S

Geben Sie den zweiten Temperaturbereich ein

Länge

des Heizabschnitts in der ersten und zweiten Temperaturzone

300 + 300 mm                                                                                                                             

Konstante Temperaturlänge

450 mm                                                                                                                       

Gx-3 Dreikanal-Luftversorgung (gemischt

Luftsystem

1.1. Das Gas verlässt den Zylinder, ist

über ein Druckminderventil drucklos gemacht, gelangt durch den PTFE-Schlauch

zum Eingang des Gasversorgungssystems und passiert dann den Massenstrom




Meter, um den Gasfluss zu steuern, und geht dann durch den Gasmischtank und

tritt dann in den Ofeneinlass ein.

1.2.

2)


Ein Manometer ist am Gasmischbehälter und am Manometer angebracht

Anzeigescheibe und der Controller des Protonendurchflussmessers sind auf demselben installiert

Tafel.

1.3.

Jede Gasleitung hat zur Sicherheit ein Hochdruck-Absperrventil.

1.4.

Der Gasweg nimmt einen hochpräzisen Gasmassendurchflussmesser an, und das Innere des

Der Gasweg besteht vollständig aus Edelstahlrohr, das eine gute Korrosion aufweist

Widerstand.

1.5.

Alle Gelenke in der Box sind durch Edelstahlzwingen verbunden, die haben

gute Luftdichtigkeit und hohe Druckfestigkeit.

2. Technische Parameter:

Pneumatischer Kanal: 3

Gasflusskontrolle:

Massendurchflussmesser.

Schrankabmessungen:

600 x 600 x 600 mm

Massendurchflussmesser

technische Parameter:

Schnittstelle: Φ6

Anzeige: LEDs

Arbeitsumgebungstemperatur: 5~45°C

Durchflussregler:

Parameter des Protonenflussreglers Bitte versuchen Sie es erneut

Rohr aus rostfreiem Stahl:

Φ6 außerhalb von X Φ4

Druckvakuum

Tabelle: -0,1 ~ 0,15 MPa, 0,01

MPa/Teilung

Absperrventil: Φ6

Flusskontrolle: SPS

intelligente Steuerung

功率

3. Massedurchflussmesser

电压

technische Parameter:

转速

Produkt

Name: Massendurchflussregler

Produkt

Beschreibung : Normaler Typ, analoge Schaltung

6

Produkt

Details: Gewöhnlich, analoge Schaltung, Gummidichtung, Röhrenshunt, nicht einfach zu

Block.

Hauptsächlich

Indikatoren: Bereich: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10

SLM (Sie können den Bereich beliebig wählen)

Genauigkeit: ±1 % F.S

Linear: 0,5 % F.S

Wiederholbarkeit: ±0,2 % F.S

Reaktionszeit: 1S

Luftdruckabfall: <0,01 MPa

Maximaler Druck: 3 MP

Arbeitsumgebungstemperatur: 5~45°C

Eingangs- und Ausgangssignale: 0~+5,00 V

Leistung: +15 V 50 mA -15 V 50 mA

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



Abmessungen: 158*30*110

Gewicht: 0,9 kg



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