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Labor-CVD-System mit 1500-1500C Zweizonen-Drehrohrofen
Das CVD-System besteht aus einem Gasversorgungssystem + Röhrenofen + Vakuumsystem, und die maximale Temperatur kann 1200 Grad, 1400 Grad, 1600 Grad und 1700 Grad erreichen. Die Heizzone kann eine Zone mit einer Temperatur, eine Zone mit zwei Temperaturen, eine Zone mit drei Temperaturen usw. sein. Das Endvakuum kann 10-3 Pa erreichen. Das Gasversorgungssystem kann ein Massedurchflussmesser oder ein Schwimmerdurchflussmesser zur Durchflussregulierung sein. Die Anzahl der Mischkanäle kann 2 Kanäle, 3 Kanäle, 4 Kanäle und 5 Kanäle betragen.
Detaillierte technische Parameter
Modell | 1500-1500-I 1500-1500-II |
Leistung | 9KW |
Rohr | Größe |
Durchm | 60 (AD) x 1400 mm Durchmesser 80 (OD) x 1400 mm |
Liefern | Stromspannung |
380 V | Phase |
zweiphasig zweiphasig | Rohr |
Korundrohr: hochreines AIO | Keramik (einschließlich) 99,5 % |
Heizung | Element |
Zuerst | Temperaturzone: Siliziumkohlenstoffstab Zweite Temperaturzone: Siliziumkohlenstoffstab |
Rotationsgeschwindigkeit des Ofenrohrs | Mit stufenlosem Motor mit variabler Drehzahl, |
die Geschwindigkeit kann zwischen (1-25 RPM) eingestellt werden | Motorleistung 40W Der Ofen kann in einem Winkel gekippt werden 0-30 Grad Eine Art Antrieb Zahnriemen und Zahnrad Kontrolle Modus UAV-Programm-Temperaturregelinstrument |
(Standard) | 1, 30-stufige Programmtemperaturregelung intelligente PID-Anpassung. |
2. Mit Übertemperaturschutz, die elektrische | Ofenheizkreis wird automatisch abgeschaltet, wenn die Temperatur ist |
Übertemperatur oder gebrochen, (wenn die Elektroofentemperatur überschreitet | 1520 Grad oder das Thermoelement ist durchgebrannt, das AC-Relais auf dem Hauptstromkreis |
wird automatisch getrennt, der Hauptstromkreis ist unterbrochen. An, das AN | Licht auf dem Panel ist aus, das AUS-Licht ist an und der begrenzte Schutz |
Elektroofen). | 3, mit 485 Kommunikationsschnittstelle (Standard |
beim Kauf von Software) | 4, mit power-off schutzfunktion, dass |
ist, wenn der Strom eingeschaltet wird, nachdem der Strom ausgeschaltet wurde, das Programm | beginnt nicht mit der Starttemperatur, sondern mit der Ofentemperatur |
steigt ab dem Zeitpunkt des Stromausfalls. | 5, das Messgerät hat die Funktion der Temperatur-Selbstoptimierung |
(Sie müssen für den Ersatz extra bezahlen | von importierten Instrumenten, optional) |
FP93-Instrument |
|
EUROTHERM-Instrument | Berührungssensitiver Bildschirm |
Instrument | (Shimaden, Japan) |
Ofenmaterial
1. Hochwertiges hochreines polykristallines Aluminiumoxid
Faserhärtungsofen, gebildet durch Vakuumfiltration.
2. Nehmen Sie japanische Technologie für das Formen an.
Kontrolle
Richtigkeit
+/- 1℃
Abzug
Phasenverschoben
Abzug
Elektrisch
Gerät
Zhejiang
chint
Silizium
kontrolliert
106/16ESEMIKRON
Das
höchste Temperatur in der ersten und zweiten Temperaturzone
1500℃
Bewertet
Temperatur in der ersten und zweiten Temperaturzone
1400℃
Heizung
Bewertung
≤ 20 ℃ / Min (kann nach Bedarf geändert werden)
Empfohlen
Geschwindigkeit des Temperaturanstiegs
≤10℃/Min
Thermoelement
S geben Sie die erste ein
Temperaturzone
S
Geben Sie den zweiten Temperaturbereich ein
Länge
des Heizabschnitts in der ersten und zweiten Temperaturzone
300 + 300 mm
Konstante Temperaturlänge
450 mm
Gx-3 Dreikanal-Luftversorgung (gemischt
Luftsystem
1.1. Das Gas verlässt den Zylinder, ist
über ein Druckminderventil drucklos gemacht, gelangt durch den PTFE-Schlauch
zum Eingang des Gasversorgungssystems und passiert dann den MassenstromMeter, um den Gasfluss zu steuern, und geht dann durch den Gasmischtank und
tritt dann in den Ofeneinlass ein. 1.2. 2) | Ein Manometer ist am Gasmischbehälter und am Manometer angebracht | Anzeigescheibe und der Controller des Protonendurchflussmessers sind auf demselben installiert | |
Tafel. | 1.3. | ||
Jede Gasleitung hat zur Sicherheit ein Hochdruck-Absperrventil. | 1.4. | ||
Der Gasweg nimmt einen hochpräzisen Gasmassendurchflussmesser an, und das Innere des | Der Gasweg besteht vollständig aus Edelstahlrohr, das eine gute Korrosion aufweist | ||
Widerstand. 1.5. | Alle Gelenke in der Box sind durch Edelstahlzwingen verbunden, die haben | gute Luftdichtigkeit und hohe Druckfestigkeit. | |
2. Technische Parameter: | Pneumatischer Kanal: 3 | ||
Gasflusskontrolle: | Massendurchflussmesser. | ||
Schrankabmessungen: | 600 x 600 x 600 mm | ||
Massendurchflussmesser | technische Parameter: | ||
Schnittstelle: Φ6 | Anzeige: LEDs | ||
Arbeitsumgebungstemperatur: 5~45°C | Durchflussregler: | ||
Parameter des Protonenflussreglers Bitte versuchen Sie es erneut | Rohr aus rostfreiem Stahl: | ||
Φ6 außerhalb von X Φ4 | Druckvakuum | ||
Tabelle: -0,1 ~ 0,15 MPa, 0,01 | MPa/Teilung | ||
Absperrventil: Φ6 Flusskontrolle: SPS intelligente Steuerung | 功率 | 3. Massedurchflussmesser | |
电压 | technische Parameter: | ||
转速 | Produkt | ||
Name: Massendurchflussregler | Produkt | ||
Beschreibung : Normaler Typ, analoge Schaltung | 6 | ||
Produkt | Details: Gewöhnlich, analoge Schaltung, Gummidichtung, Röhrenshunt, nicht einfach zu | ||
Block. Hauptsächlich | Indikatoren: Bereich: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 | SLM (Sie können den Bereich beliebig wählen) | |
• | Genauigkeit: ±1 % F.S | ||
• | Linear: 0,5 % F.S | ||
• | Wiederholbarkeit: ±0,2 % F.S | ||
• | Reaktionszeit: 1S | ||
• | Luftdruckabfall: <0,01 MPa | ||
• | Maximaler Druck: 3 MP | • | |
Arbeitsumgebungstemperatur: 5~45°C | • | ||
Eingangs- und Ausgangssignale: 0~+5,00 V | • | ||
Leistung: +15 V 50 mA -15 V 50 mA | • |
Abmessungen: 158*30*110
•
Gewicht: 0,9 kg