Lab 1200C Einzonen-Rohrofen-CVD-System

Sales Lab 1200C Einzonen-Rohrofen-CVD-System

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Produktdetail  

Lab 1200C Einzonen-Rohrofen-CVD-System

DasCVD-Systembesteht ausGasversorgungssystem+Röhrenofen+Vakuumsystem, und die maximale Temperatur kann 1200 Grad, 1400 Grad, 1600 Grad und 1700 Grad erreichen. Die Heizzone kann eine Zone mit einer Temperatur, eine Zone mit zwei Temperaturen, eine Zone mit drei Temperaturen usw. sein. Das Endvakuum kann erreicht werden10-3 Pa. Das Gasversorgungssystem kann ein Massedurchflussmesser oder ein Schwimmerdurchflussmesser zur Durchflussregulierung sein. Die Anzahl der Mischkanäle kann 2 Kanäle, 3 Kanäle, 4 Kanäle und 5 Kanäle betragen.


Detaillierte technische Parameter des Rohrofens

Typ

1200-I

1200-II

1200-III

1200-V

1200-VI

1200-VII

Leistung

3,5 KW

3,5 KW

3,5 KW

5KW

6KW

7KW

Rohrgröße (OD (mm)

Durchmesser 60 X1000

Durchmesser80X1000

Durchmesser 100X1000

Durchmesser 150X1000

Durchmesser200X1000

Durchmesser250X1000

Maße

1140X450X690

1140X450X690

1140X450X690

1110X530X755

1120X580X805

1314 x 680 x 905

Versorgungsspannung

220V

Phase

Einzelphase

Heizkörper

Widerstandsdraht

Temperaturkontrolle


UAV-Programmtemperaturregelung

Instrument (Standard)

1, 30-Stufen-Programmtemperatur

intelligente PID-Anpassung steuern.

2. Mit Übertemperaturschutz,

Der Heizkreis des Elektroofens wird automatisch abgeschaltet, wenn der

Temperatur ist Übertemperatur oder defekt, (wenn der Elektroofen

Temperatur übersteigt 1200 Grad oder das Thermoelement ist durchgebrannt, das AC-Relais

auf dem Hauptstromkreis wird automatisch getrennt, der Hauptstromkreis ist


gebrochen. Ein, das ON-Licht auf dem Bedienfeld ist aus, das OFF-Licht ist an und das

Elektroofen mit begrenztem Schutz).

3, mit 485 Kommunikationsschnittstelle

(Standard beim Kauf von Software)


4, mit power-off schutz

Funktion, das heißt, wenn die Stromversorgung eingeschaltet wird, nachdem die Stromversorgung ausgeschaltet wurde,

das Programm startet nicht bei der Starttemperatur, sondern beim Ofen

Temperatur steigt ab dem Zeitpunkt des Stromausfalls.

5, die

Meter hat die Funktion der Temperaturselbsteinstellung

(Sie müssen extra bezahlen

der Ersatz importierter Instrumente, optional)

FP93 Temperaturregler (Shimashima,

Japan)   EUROPÄISCHES Instrument   Touchscreen-Instrument

Kammermaterial

1.

Aushärtungsofen für hochreine polykristalline Aluminiumoxidfasern gebildet

durch Vakuumsaugfiltration.

2.

Gebildet durch japanische Technologie.

3. Der Abstand und die Tonhöhe des Widerstands

Drähte im Ofen sind alle nach der besten Thermik angeordnet

Technologie in Japan, und das Temperaturfeld wird durch die Thermik simuliert

Software.

Ventil und Flansch

60/80/100Draufsicht

Temperaturkalibrierung

(Optional)

Regulär

Temperaturkalibrierung des Rohrofens erhält die Genauigkeit und


Gleichmäßigkeit der Ofentemperatur. Sie können eine einfache Kalibrierung erwerben

Werkzeug des Unternehmens, um Sie bei dieser Arbeit zu unterstützen. Die komplette Kalibrierung

Das Kit enthält einen Standard-Thermoelement-Temperaturkalibrator vom Typ S.

Kontrollgenauigkeit



+/- 1℃

Abzug

Phasenverschoben

Abzug

Elektrogerät

Zhejiang Chint

Silizium kontrolliert

106/16ESEMIKRON

Maximale Temperatur

1200℃

Nenntemperatur

1150℃

Erwärmungsrate

≤30℃/min(es

kann nach Bedarf geändert werden)

Empfohlene Rate von

Temperaturanstieg


≤15 ℃/Min

Thermoelement-Typ

K-Typ

Heizlänge

400-440mm

Konstante Temperaturlänge

150mm

Temperaturfeldkurve

Periphere Oberflächentemperatur

≤45℃

Deckelschutz öffnen

System

Wenn die Ofenabdeckung ist

geöffnet, das Relais unterbricht automatisch die Hauptstromversorgung,

die Sicherheit des Benutzers effektiv gewährleisten.

VS-0.1

Vakuumsystem (VRD16)

Das System

(kann das Vakuum im Röhrenofen auf 0,6 Pa pumpen) besteht aus einem Saugflansch

(Eigenbau) mit KF25-Schnittstelle, Hochvakuum-Stromstörer-Verfahren, Widerstandsvakuum

Messgerät, Faltenbalg, Halterung (selbstgemacht), Vakuumpumpe Verbinden Sie das T-Rohr an der

Flanschauslass, verbinden Sie das Widerstandssilikon mit einem Ende des Dreiwegerohrs,

Verbinden Sie das Hochvakuum-Klappenventil mit dem anderen Ende, schließen Sie die Klappe an

Ventil und die Vakuumpumpe mit der Riffelung von Dia25, und verwenden Sie die KF25 schnell

Klemme für den Anschlussport. .

1. Druckerkennungssystem

Einzelwiderstand vom Typ ZDR-I/ZDR-I-LED

Vakuummessgerät

Das Widerstands-Vakuummeter

(auch als Pirani-Vakuummeter bekannt) verwendet einen speziell stabilisierten ZJ-52T

Widerstandsmesser und wendet einen neuen Konstanttemperatur-Betriebsmodus auf den an

konstante Kraft. Gleichzeitig dient der Mikroprozessor zur Steuerung der

Nichtlinearität der Regelung. Lineare Verarbeitung. Es hat die Eigenschaften

von stabiler Leistung, großem Messbereich, schneller Reaktion und geringer Drift. Und

leistungsstarke und zuverlässige Relaissteuerung auf Mikroprozessorbasis, serielle Kommunikation

Ausgang, Vakuum-Analogausgang und andere Funktionen. Besonders geeignet für

Grob- und Grobvakuummessung und Regelung von Vakuumanwendungen.




2. Technische Parameter:

*

Verteilungsregelung: Widerstandsmesser ZJ-52T

*

Messbereich: 10 5 ~ 10 -1 Pa

*

Anzahl der Messungen: 1 Weg


*

Anzahl der Steuerkanäle: 2 Straßen können auf 4 oder 8 Straßen erweitert werden

*

Regelbereich: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pa

*

Steuermodus: Relaiskontaktausgang, Belastbarkeit AC220V/3A (oder DC28V/3A) nicht induktiv

Belastung

*

Leistung: 90-260 V/50 Hz oder 220 V ± 10 % 50 Hz

*


Leistungsaufnahme: 25W


*

Gewicht: 4Kg/3Kg/0,5Kg (je nach Fahrgestell)

*

Gehäusegröße: 240 × 88 × 280 oder 265 × 119 × 280 oder 96 × 96 × 120

480

× 88 × 280 oder 480 × 119 × 280 (Breite × Höhe × Tiefe)

3. Leistungsmerkmale:

*LED

Digitalanzeige mit grünem Bildschirm.

*

Große Auswahl an Star-Umfragen

*

Schnelle Reaktionsgeschwindigkeit

*

Mikrocomputer-Korrektur regelt Nichtlinearität und reduziert Messfehler.

*

Optische Isolierung, digitale Filterung, verbesserte Anti-Interferenz-Fähigkeit.

*

PVC-Farbtafel, schönes Aussehen.

*

Punktsteuerung oder Bereichsrelais-Steuerungsausgang, während der Sollwert ausgeschaltet ist

Schutzspeicherfunktion.

4. Vakuumpumpe VRD16 annehmen



CVD system

Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



VRD16

Technischer Begriff

Spezifikation



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