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Lab 1200C Einzonen-Rohrofen-CVD-System
DasCVD-Systembesteht ausGasversorgungssystem+Röhrenofen+Vakuumsystem, und die maximale Temperatur kann 1200 Grad, 1400 Grad, 1600 Grad und 1700 Grad erreichen. Die Heizzone kann eine Zone mit einer Temperatur, eine Zone mit zwei Temperaturen, eine Zone mit drei Temperaturen usw. sein. Das Endvakuum kann erreicht werden10-3 Pa. Das Gasversorgungssystem kann ein Massedurchflussmesser oder ein Schwimmerdurchflussmesser zur Durchflussregulierung sein. Die Anzahl der Mischkanäle kann 2 Kanäle, 3 Kanäle, 4 Kanäle und 5 Kanäle betragen.
Detaillierte technische Parameter des Rohrofens
Typ | 1200-I | 1200-II | 1200-III | 1200-V | 1200-VI | 1200-VII |
Leistung | 3,5 KW | 3,5 KW | 3,5 KW | 5KW | 6KW | 7KW |
Rohrgröße (OD (mm) | Durchmesser 60 X1000 | Durchmesser80X1000 | Durchmesser 100X1000 | Durchmesser 150X1000 | Durchmesser200X1000 | Durchmesser250X1000 |
Maße | 1140X450X690 | 1140X450X690 | 1140X450X690 | 1110X530X755 | 1120X580X805 | 1314 x 680 x 905 |
Versorgungsspannung | 220V | |||||
Phase | Einzelphase | |||||
Heizkörper | Widerstandsdraht | |||||
Temperaturkontrolle | UAV-Programmtemperaturregelung Instrument (Standard) 1, 30-Stufen-Programmtemperatur intelligente PID-Anpassung steuern. 2. Mit Übertemperaturschutz, Der Heizkreis des Elektroofens wird automatisch abgeschaltet, wenn der Temperatur ist Übertemperatur oder defekt, (wenn der Elektroofen Temperatur übersteigt 1200 Grad oder das Thermoelement ist durchgebrannt, das AC-Relais | |||||
auf dem Hauptstromkreis wird automatisch getrennt, der Hauptstromkreis ist | gebrochen. Ein, das ON-Licht auf dem Bedienfeld ist aus, das OFF-Licht ist an und das Elektroofen mit begrenztem Schutz). 3, mit 485 Kommunikationsschnittstelle | |||||
(Standard beim Kauf von Software) | ||||||
4, mit power-off schutz | ||||||
Funktion, das heißt, wenn die Stromversorgung eingeschaltet wird, nachdem die Stromversorgung ausgeschaltet wurde, | das Programm startet nicht bei der Starttemperatur, sondern beim Ofen | |||||
Temperatur steigt ab dem Zeitpunkt des Stromausfalls. | 5, die | |||||
Meter hat die Funktion der Temperaturselbsteinstellung | (Sie müssen extra bezahlen | |||||
der Ersatz importierter Instrumente, optional) | FP93 Temperaturregler (Shimashima, | |||||
Japan) EUROPÄISCHES Instrument Touchscreen-Instrument | Kammermaterial | |||||
1. | Aushärtungsofen für hochreine polykristalline Aluminiumoxidfasern gebildet | |||||
durch Vakuumsaugfiltration. | 2. | |||||
Gebildet durch japanische Technologie. | 3. Der Abstand und die Tonhöhe des Widerstands | |||||
Drähte im Ofen sind alle nach der besten Thermik angeordnet | Technologie in Japan, und das Temperaturfeld wird durch die Thermik simuliert | |||||
Software. | Ventil und Flansch | |||||
60/80/100Draufsicht | Temperaturkalibrierung | |||||
(Optional) | Regulär | |||||
Temperaturkalibrierung des Rohrofens erhält die Genauigkeit und | ||||||
Gleichmäßigkeit der Ofentemperatur. Sie können eine einfache Kalibrierung erwerben | Werkzeug des Unternehmens, um Sie bei dieser Arbeit zu unterstützen. Die komplette Kalibrierung | |||||
Das Kit enthält einen Standard-Thermoelement-Temperaturkalibrator vom Typ S. | Kontrollgenauigkeit |
+/- 1℃
Abzug
Phasenverschoben
Abzug
Elektrogerät
Zhejiang Chint
Silizium kontrolliert
106/16ESEMIKRON
Maximale Temperatur
1200℃
Nenntemperatur
1150℃
Erwärmungsrate
≤30℃/min(es
kann nach Bedarf geändert werden)
Empfohlene Rate von
Temperaturanstieg
≤15 ℃/Min
Thermoelement-Typ
K-Typ
Heizlänge
400-440mm
Konstante Temperaturlänge
150mm
Temperaturfeldkurve
Periphere Oberflächentemperatur
≤45℃ | Deckelschutz öffnen | System | |
Wenn die Ofenabdeckung ist | geöffnet, das Relais unterbricht automatisch die Hauptstromversorgung, | die Sicherheit des Benutzers effektiv gewährleisten. | VS-0.1 |
Vakuumsystem (VRD16) | |||
Das System | (kann das Vakuum im Röhrenofen auf 0,6 Pa pumpen) besteht aus einem Saugflansch | ||
(Eigenbau) mit KF25-Schnittstelle, Hochvakuum-Stromstörer-Verfahren, Widerstandsvakuum | |||
Messgerät, Faltenbalg, Halterung (selbstgemacht), Vakuumpumpe Verbinden Sie das T-Rohr an der | Flanschauslass, verbinden Sie das Widerstandssilikon mit einem Ende des Dreiwegerohrs, | ||
Verbinden Sie das Hochvakuum-Klappenventil mit dem anderen Ende, schließen Sie die Klappe an | Ventil und die Vakuumpumpe mit der Riffelung von Dia25, und verwenden Sie die KF25 schnell | ||
Klemme für den Anschlussport. . | 1. Druckerkennungssystem | ||
Einzelwiderstand vom Typ ZDR-I/ZDR-I-LED | Vakuummessgerät | ||
Das Widerstands-Vakuummeter | (auch als Pirani-Vakuummeter bekannt) verwendet einen speziell stabilisierten ZJ-52T | ||
Widerstandsmesser und wendet einen neuen Konstanttemperatur-Betriebsmodus auf den an | konstante Kraft. Gleichzeitig dient der Mikroprozessor zur Steuerung der | ||
Nichtlinearität der Regelung. Lineare Verarbeitung. Es hat die Eigenschaften | von stabiler Leistung, großem Messbereich, schneller Reaktion und geringer Drift. Und | ||
leistungsstarke und zuverlässige Relaissteuerung auf Mikroprozessorbasis, serielle Kommunikation | Ausgang, Vakuum-Analogausgang und andere Funktionen. Besonders geeignet für | Grob- und Grobvakuummessung und Regelung von Vakuumanwendungen. |
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Verteilungsregelung: Widerstandsmesser ZJ-52T
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Messbereich: 10 5 ~ 10 -1 Pa
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Anzahl der Messungen: 1 Weg
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Anzahl der Steuerkanäle: 2 Straßen können auf 4 oder 8 Straßen erweitert werden
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Regelbereich: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pa
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Steuermodus: Relaiskontaktausgang, Belastbarkeit AC220V/3A (oder DC28V/3A) nicht induktiv
Belastung
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Leistung: 90-260 V/50 Hz oder 220 V ± 10 % 50 Hz
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Leistungsaufnahme: 25W
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Gewicht: 4Kg/3Kg/0,5Kg (je nach Fahrgestell)
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Gehäusegröße: 240 × 88 × 280 oder 265 × 119 × 280 oder 96 × 96 × 120
480
× 88 × 280 oder 480 × 119 × 280 (Breite × Höhe × Tiefe)
3. Leistungsmerkmale:
*LED
Digitalanzeige mit grünem Bildschirm.
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Große Auswahl an Star-Umfragen
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Schnelle Reaktionsgeschwindigkeit
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Mikrocomputer-Korrektur regelt Nichtlinearität und reduziert Messfehler.
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Optische Isolierung, digitale Filterung, verbesserte Anti-Interferenz-Fähigkeit.
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PVC-Farbtafel, schönes Aussehen.
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Punktsteuerung oder Bereichsrelais-Steuerungsausgang, während der Sollwert ausgeschaltet ist
Schutzspeicherfunktion.
4. Vakuumpumpe VRD16 annehmen
VRD16
Technischer Begriff
Spezifikation