System, ein Gasversorgungssystem und ein Hochfrequenzenergieversorgungssystem. Hauptsächlich

verwendet für: Wachstum von Metalldünnfilmen, Keramikdünnfilmen, Verbunddünnfilmen,

Graphen usw. Es ist einfach, Funktionen hinzuzufügen und Funktionen zu erweitern, wie z

Plasmareinigung und Ätzen. Das PECVD-System hat die Vorteile eines hohen Films

Abscheidungsrate, gute Gleichmäßigkeit, hohe Konsistenz und Stabilität.

Ausführliche technische

Parameter

Modell

TL1600-I

Leistung

5KW

Rohrgröße (OD) (mm)

Hochreines Korundrohr: 60 mm (Rohrdurchmesser)

Auf jeder Seite befinden sich zwei Ofenstopfen. Das

Ofenstopfen können die Wärmestrahlung in der Mitte des Ofenrohrs blockieren

und müssen vor dem Erhitzen lagerichtig im Ofen platziert werden.

Abmessungen

1120X490X855

Versorgungsspannung

220V

Phase

einzelphase

Heizkörper

1800 Modell Silizium-Molybdän-Stab

Art der Temperaturregelung

Verwenden

Yudian-Programm-Temperaturregelgerät (Standard)

1.

30-Segment-Programm Temperaturregelung intelligente PID-Anpassung.

2.

Mit Übertemperaturschutz wird der Heizkreis des Elektroofens

automatisch abgeschnitten werden, wenn die Temperatur Übertemperatur ist oder wenn die

Paar ist kaputt. ON, das ON-Licht auf dem Bedienfeld ist aus, das OFF-Licht ist an,

und der Elektroofen ist begrenzt geschützt).

3.

Mit 485 Kommunikationsschnittstelle (Standard mit optionaler Software)

4.

Es hat eine Stromausfallschutzfunktion, dh wenn der Ofen steht

eingeschaltet, nachdem der Strom ausgeschaltet wurde, startet das Programm nicht von der

Anfangstemperatur, aber beginnt von der Ofentemperatur, wenn die Macht

ist aus.

5.Die

Meter hat die Funktion der Temperaturselbsteinstellung

(Sie müssen extra für den Ersatz von importierten bezahlen

Instrumente, optional)

FP93-Instrument                             EUROTHERM-Instrument                        Touchscreen

Instrument

(Shimaden, Japan)

Kammermaterial

1. Das Herdmaterial ist von hoher Qualität

Polykristalline Faser aus Aluminiumoxid.

2. Die Oberfläche des Innenofens wird mit beschichtet

importierte 1800-Grad-Hochtemperatur-Aluminiumoxidbeschichtung, die die erhöhen kann

Emissionsgrad und machen das Temperaturfeld ausgeglichener.

Ventile und Flansche

Präzision steuern

Bildschirm digitale Anzeige.

Adoptieren

Vakuumpumpe VRD16

VRD16

Technischer Begriff

Spezifikation

VRD-16

Pumpgeschwindigkeitm³/h (L/s)

Motorleistung (KW)

0,75 KW/0,55 KW

Einlass-/Auslassanschluss DN

KF25

Durchflussregler verwendet wird, siehe Rückseite