Vakuumsystem mit Vakuumpumpe VRD16 für CVD-System

I. Übersicht

Das System

(kann das Vakuum im Röhrenofen auf 0,6 Pa pumpen) besteht aus einem Saugflansch

(Eigenbau) mit KF25-Schnittstelle, Hochvakuum-Stromstörer-Verfahren, Widerstandsvakuum

Messgerät, Faltenbalg, Halterung (selbstgemacht), Vakuumpumpe Verbinden Sie das T-Rohr an der

Flanschauslass, verbinden Sie das Widerstandssilikon mit einem Ende des Dreiwegerohrs,

Verbinden Sie das Hochvakuum-Klappenventil mit dem anderen Ende, schließen Sie die Klappe an

Ventil und die Vakuumpumpe mit der Riffelung von Dia25, und verwenden Sie die KF25 schnell

Klemme für den Anschlussport. .

2. Druckerkennungssystem

Einzelwiderstand vom Typ ZDR-I/ZDR-I-LED

Vakuummessgerät

Das Widerstands-Vakuummeter

(auch als Pirani-Vakuummeter bekannt) verwendet einen speziell stabilisierten ZJ-52T

Widerstandsmesser und wendet einen neuen Konstanttemperatur-Betriebsmodus auf den an

konstante Kraft. Gleichzeitig dient der Mikroprozessor zur Steuerung der

Nichtlinearität der Regelung. Lineare Verarbeitung. Es hat die Eigenschaften

von stabiler Leistung, großem Messbereich, schneller Reaktion und geringer Drift. Und

leistungsstarke und zuverlässige Relaissteuerung auf Mikroprozessorbasis, serielle Kommunikation

Ausgang, Vakuum-Analogausgang und andere Funktionen. Besonders geeignet für

Grob- und Grobvakuummessung und Regelung von Vakuumanwendungen.

Technische Parameter:

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Verteilungsregelung: Widerstandsmesser ZJ-52T

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Messbereich: 10 5 ~ 10 -1 Pa

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Optische Isolierung, digitale Filterung, verbesserte Anti-Interferenz-Fähigkeit.

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